更新 2015. 6. 12

近距離音場による歪み制御

「近距離音場による歪み制御技術の開発」

最近、我々は、表面にマイクロパターン成形した微細構造体を薄膜試料に近接させ、気体中で振動させることにより、 微細構造を反映した近距離音場（応力場）が薄膜を振動させ、歪みを誘起するという新たな歪み制御技術を開発した。 この手法では、圧電素子の表面に櫛状あるいは格子状等の微細構造体を結合した振動子を作製し、架橋された薄膜上に近接配置する。 気体の平均自由行程がマイクロパターンのスケールよりも短い場合、気体中で振動子を振動させることにより、 微細構造振動子表面のマイクロパターンで変調された音場が、振動子と薄膜との間に疎密波を発生させ、結果として薄膜に応力を加える。 本手法は、歪みの強度、周波数、幾何学的パターンを容易に制御でき、かつ非接触で薄膜に応力を加えられることから、 薄膜本来の歪み効果を検出できる可能性がある。

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画像センシング

「位置シフトによる高分解能イメージング手法の開発」

試料の位置を微少量変化させ、取得イメージの差分をとることにより、光源、ファイバ光学系、検出器の時間的・空間的揺らぎをほぼキャンセルしつつ、 試料からの光信号の位置依存性のみを高感度に検出しようというものであり 光学測定系とピエゾ駆動ステージを結合させ、 実際には、試料ステージを数十ミクロン程度、前後左右にそれぞれずらし、その都度、画像イメージを取得した。 そして、PC上で基準位置での画像の信号強度を8倍し、シフトして得られた画像をそれぞれ差し引くことにより、擬似的な空間2次微分データを得ることができた。 差分法による光信号の試料位置依存性のみを検出する高分解能イメージング手法を開発した。 この手法は数値演算による画像の鮮鋭化処理とは決定的に異なっており、イメージファイバ光学系や顕微鏡システムに適用したところ、 炭素原子１層の膜であるグラフェンの反射イメージ等の観測で、大幅な分解能の向上を実現した。 本手法の汎用性は高く、画像センシング分野での幅広い応用が期待される。

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シャッター機構

「イオンシャワー装置におけるシャッター機構の開発」

エッチングに用いられるイオンシャワー装置（エリオニクス(株)製）加速電圧のON/OFFといった電気的シャッターではなく、機械的なシャッター機構 電子サイクロトロン共鳴型電子銃　アルゴン　酸素　等のガスをイオン化し、

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回転機構

「一軸回転ステージ」

準備中

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「二軸回転機構」

準備中

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パルスマグネット

「パルスマグネット」

準備中

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